Wafer Handling mit Linearmotor Komponenten

Herausforderung

Bei der hohen Anzahl von Zellen, die in kürzester Zeit durch diese Anlagen laufen, werden auch von den Antrieben Spitzenleistungen abverlangt. Schnell aber gleichzeitig ruckfrei müssen sie präzise verfahren.

Lösung

Omrons Linearmotoren und Linearmotorsysteme in Verbindung mit unserem TrajeXia Motion-Controller und Sigma V Reglern mit fortschrittlichen Auto- und Self-Tuning Algorithmen.

Vorteile

Omrons Linearantriebe ermöglichen einen sehr hohen Durchsatz bei gleichzeitig hervorragenden Positioniereigenschaften. Die schnellen Regelzeiten des Sigma V ermöglichen eine ruckfreie und dynamische Ansteuerung der Linearmotoren, und somit eine sichere und schonende Handhabung der Solarwafer.