Wafer-Erkennung

Herausforderung

Die verschiedenen Oberflächenbeschaffenheiten von Wafern machen eine stabile Wafer-Erkennung schwierig. Einige Dünnschichten (z. B. Reflexionsschutzbeschichtungen) auf Wafern absorbieren Licht einer bestimmten Wellenlänge, wodurch eine Wafer-Erkennung mit einem optischen Sensor unmöglich ist, der nur eine einzige Wellenlänge nutzt.

Lösung
Omron bietet einen Lichtleitersensor mit weißem LED-Sender und RGB-Empfänger an. Eine großes Spektrum von Wellenlängen ermöglicht eine Unterscheidung zwischen Oberflächenbeschaffenheiten und erkennt alle Wafer, unabhängig von deren Oberflächenbeschaffenheit.

Vorteile

Unterschiedene Wafer können mit einem Sensor erfasst werden. Darüber hinaus spart ein kompakter Lichtleitersensor Kosten und Platz.