Wafer Kantenisolierung
Nachdem das PSG (Phosphorsilikatglas) weggeätzt ist, wird die Schicht mit der n-Dotierung mittels eines Laserwerkzeugs von den Kanten entfernt. Es entsteht eine Nut in der Nähe und entlang der Kante des Wafers.
Mit einer genauen X-Y-Positionierung und einem Bildverarbeitungssystem fährt der Laser an den Kanten entlang.
Applikationen & Lösungen
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