Messungen in einer Vakuumkammer

Herausforderung

Der Einbau von Sensoren in einer Vakuumkammer ist problematisch, da der sich auf Sichtfenster oder Sensorlinsen niederschlagende Dunst die Sicht behindert und Messfehler verursacht.

Lösung

Die Kombination eines intelligenten Sensors mit einem unterdruckresistenten Reflektor ermöglicht stabile Messungen.

Der Reflektor einer Reflexionslichtschranke lässt sich in einer Vakuumkammer platzieren, sodass die Erfassung von Wafern/Glas durch ein Sichtfenster möglich ist.

Auch wenn die Sichtfenster beschlagen sollten, kann der Sensor den Abfall der Intensität des reflektierten Lichts erkennen und den Schwellenwert automatisch proportional zum diesem Abfall ändern.

Vorteile

Einfache Wartung mit stabiler Erfassung über einen längeren Zeitraum sowie eine Steigerung der Anlagenzuverlässigkeit durch Reduzierung von Fehlerkennungen.