

Herausforderung
Die verschiedenen Oberflächenbeschaffenheiten erschweren eine stabile Wafer-Erkennung.
Glassubstrate können sich unter ihrem eigenen Gewicht verformen, so dass der Messbereich so groß wie möglich sein sollte.
Für eine sichere Handhabung muss die Kantenposition jeweils an derselben Stelle erkannt werden, unabhängig von Stärke, Oberflächenbeschaffenheit oder Verformung des Materials.
Lösung
Omron hat einzigartige Lichtleitersensoren zur Erkennung von Glassubstraten im Angebot, die auch an den Roboter-Greifern montiert werden können. Der spezielle optische Aufbau erlaubt eine Positionierung der Glassubstrate mit hervorragender Wiederholbarkeit, auch wenn Verformungen vorhanden sind.
Vorteile
Der Einsatz von Sensoren, die genau für solche Aufgaben entwickelt worden sind, ermöglicht einen stabilen Prozess.

