Erkennung von herausgerutschtem Glas

Herausforderung

Aus seinen festgelegten Positionen herausgerutschtes Glas kann einen Zusammenstoß zwischen Roboterarm und Glas verursachen. Für das sichere Handling ist es wichtig, dass aus der Kassette gerutschtes Glas immer erkannt wird. Die erkannte Kantenposition muss für alle Glassubstrate in der Kassette identisch sein (vom untersten Glassubstrat bis zum obersten). Unter der Kassette ist in der Regel nicht genug Raum für das Platzieren von Sensoren vorhanden.

Lösung

Koaxiale Laser-Reflexionslichtschranken erkennen, ob sich jeder Wafer an derselben Position befindet (ohne Streuung über die gesamte Länge der Kassette gemessen). Auch transparentes Glas wird zuverlässig erkannt.

Vorteile

Problemlose und sichere Handhabung bei gleichzeitiger Einsparung von Platz und Verdrahtung.