Applikationen & Lösungen
Zur Messung der Dicke eines Wafers wird der Abstand auf beiden Seiten mit zwei Lasersensoren gemessen.
Die...
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Bei thermischen Pro- zessen ist sicherer Be- trieb eine Schlüssel- frage. Die Interlock- Sperre schützt...
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Bei der Messung des Flüssigkeitsstands in einem transparenten Rohr können Blasen, Tropfen oder zähe Flüssigkeiten...
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Um die Anwesenheit von Wafern in einem FOUP richtig zu erkennen, muss der Öffnungswinkel der Einweglichtschranke,...
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Zur Zentrierung des Wafers oder zur Suche nach der Wafer-Notch/Flat muss der Wafer-Rand genau und schnell gemessen...
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