Wafer-Erkennung

Herausforderung

Die verschiedenen Oberflächenbeschaffenheiten von Wafern machen eine stabile Wafer-Erkennung schwierig. Bestimmte Dünnschichten auf Wafern absorbieren Licht einer bestimmten Wellenlänge. Diese Wafer können nicht mit einem optischen Sensor erfasst werden, dessen Lichtquelle nur eine einzige Wellenlänge nutzt.

Lösung

Omron bietet einen Lichtleitersensor mit weißem LED-Sender und RGB-Empfänger an. Eine großes Spektrum von Wellenlängen ermöglicht eine Unterscheidung zwischen verschiedenen Oberflächenbeschaffenheiten und somit eine Erfassung aller Wafer.

Vorteile

Nur prozessierte Wafer werden weitergeleitet und unterschiedliche Wafer können mit einem Kosten und Platz sparenden kompakten Sensor erfasst werden.