Carrier Transport mit rotatorischen Servomotoren

Herausforderung

Auch für thermische Prozesse konstruierte Anlagen erfordern ein optimal funktionierendes Wafer-Handling-System. Das Umsetzen der Wafer inner-
halb der Anlage muss weitestgehend frei von Erschütterungen, Vibrationen und abrupten Bewegungen sein.

Lösung

Unser neuester Sigma V ist ein Servoregler, der sich durch höchste Präzision und Positioniergenauigkeit auszeichnet. Der Sigma V garantiert mit der Self-Tuning-Option eine schnelle und problemlose Inbetriebnahme. Flexibilität ermöglicht auch seine Kompatibilität zur unserer breiten Motorpalette.

Vorteile

Der Sigma V ermöglicht eine vibrationsarme Ansteuerung des Motors und garantiert einen perfekten Gleichlauf.