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Schnelle und korrekte Temperaturstabilisierung
Herausforderung
Durch mechanische Einflüsse verursachte Temperaturänderungen müssen schnell ausgeregelt werden, um einen hohen Durchsatz aufrecht zu erhalten.
Lösung
Temperaturregler von Omron mit dem 2-PID-Algorithmus "Störungs-
überschwingungs-Einstellfunktion" ermöglichen bei Temperaturabnahmen eine schnelle Hochregelung auf den Stellwert zur Wiederherstellung der Solltemperatur und somit eine Minimierung der Stabilisierungszeit.
Vorteile
Verbesserter Durchsatz und hohe Dünnschichtqualität durch stabile Temperatur.
Applikationen & Lösungen
Auch für thermische Prozesse konstruierte Anlagen erfordern ein optimal funktionieren- des Wafer-Handling- System....
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Die Spezifikationen jeder Maschine müssen für jede Ferti- gungslinie festgelegt werden. Deshalb muss der Aufbau...
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Durch mechanische Einflüsse verursachte Temperaturänderun- gen müssen schnell ausgeregelt werden, um einen hohen...
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Bei thermischen Pro- zessen ist sicherer Be- trieb eine Schlüssel- frage. Die Interlock-Sperre schützt...
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Temperaturgleichheit ist der Schlüssel für hohe Dünnschicht- qualität bei der Fein- strukturierung. Es ist...
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Um Wafer in oder in der Nähe von Heiz- kammern erfassen zu können, muss der Sensorkopf hitze- beständig sein.
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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