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Hitzebeständige Lichtleitersensoren
Herausforderung
Um Wafer in oder in der Nähe von Heizkammern erfassen zu können, muss der Sensorkopf hitzebeständig sein.
Lösung
Omron bietet mehrere hitzebeständige Lichtleitersensoren an:
- Bis 350 Grad hitzeresistent für Heizöfen
- Bis 200 Grad für IC-Handling bei hohen Temperaturen, flexibel (Biegeradius 10 mm)
- Bis 200 Grad zur Erfassung kleiner Objekte in großen Entfernungen (1300 mm), mit engem Strahlkegel
Vorteile
Stabile Erfassung für stabilen Prozess.
Applikationen & Lösungen
Auch für thermische Prozesse konstruierte Anlagen erfordern ein optimal funktionieren- des Wafer-Handling- System....
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Durch mechanische Einflüsse verursachte Temperaturänderun- gen müssen schnell ausgeregelt werden, um einen hohen...
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Bei thermischen Pro- zessen ist sicherer Be- trieb eine Schlüssel- frage. Die Interlock-Sperre schützt...
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Temperaturgleichheit ist der Schlüssel für hohe Dünnschicht- qualität bei der Fein- strukturierung. Es ist...
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Um Wafer in oder in der Nähe von Heiz- kammern erfassen zu können, muss der Sensorkopf hitze- beständig sein.
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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