2D Code auf Wafern
Herausforderung
Das Wafer-ID-Management ist ideal für die Rückverfolgung von Daten, doch ist das Dekodieren einer ID auf einem Wafer aufgrund der Wafer-Ober-
flächenbeschaffenheit nicht einfach.
Lösung
Omron bietet einen 2D-Code Reader an, der einen besonderen Omron-Algorithmus zur Steigerung der Lesegeschwindigkeit verwendet. Er kann den SEMI T7-Code gemäß SEMI-Standard dekodieren und erleichtert die Justage mit Hilfe einer unkomplizierten Anleitungsfunktion. Die 2D-Code Reader und die Zustandsüberwachungsfunktion helfen bei der Einrichtung.
Vorteile
Wafer-ID-Management mit 2D-Code macht auch kleine Produktionschargen wirtschaftlich, während die höhere Dekodiergeschwindigkeit hilft, einen hohen Durchsatz zu erzielen.
Applikationen & Lösungen
Auch für thermische Prozesse konstruierte Anlagen erfordern ein optimal funktionieren- des Wafer-Handling- System....
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Die Spezifikationen jeder Maschine müssen für jede Ferti- gungslinie festgelegt werden. Deshalb muss der Aufbau...
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Durch mechanische Einflüsse verursachte Temperaturänderun- gen müssen schnell ausgeregelt werden, um einen hohen...
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Bei thermischen Pro- zessen ist sicherer Be- trieb eine Schlüssel- frage. Die Interlock-Sperre schützt...
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Temperaturgleichheit ist der Schlüssel für hohe Dünnschicht- qualität bei der Fein- strukturierung. Es ist...
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Um Wafer in oder in der Nähe von Heiz- kammern erfassen zu können, muss der Sensorkopf hitze- beständig sein.
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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