Wafer Thermische Prozesse
Bei einem thermischen Prozess, wie z.B. der Oxidation/Diffusion und Nieder-druck-CVD werden Wafer in Quarzöfen gebrannt, um eine Dünnschicht entstehen zu lassen oder die Oberfläche zu dotieren. Um eine hohe Qualität dieses thermischen Verfahrens sicherzustellen, zählt eine genaue und schnelle Temperaturregelung zu den Schlüsselfaktoren. Und Omron bietet den idealen Algorithmus für Standalone-Temperaturregler und solche mit programmierbaren Regelkreisen.
Bei thermischen Prozessen ist sicherer Betrieb ebenfalls ein Schlüsselthema. Das Interlock-System schützt Bedienpersonal und System vor Übertempera-turen und anderen unsicheren Zuständen. Wenn bei einer Maschine Proble-
me auftreten, muss sie einen Fehlerschutz aufweisen. Gleichzeitig muss die Bedienperson gewarnt werden.
Omron bietet ein flexibles, auf Softwarelogik basierendes Sicherheits-steuerungssystem an, das mit DeviceNet (für geringeren Verdrahtungs-aufwand), SPS (zur Maschinensteuerung) und HMI’s (Mensch-Maschine-Schnittstellen) kombiniert werden kann. Darüber hinaus erlaubt es kürzere Entwicklungszeiten für Modifikationen zur Erfüllung der Anforderungen gemäß SEMI/S2.
