

Herausforderung
Beim FOUP Management kann ein Lesefehler der FOUP-ID zu Prozessfehlern, Anlagenstillstand oder anderen unerwünschten Situationen führen.
Lösung
Beim RFID-System von Omron erfolgt ein dezentrales Informationsmanage-
ment durch Speichern der Prozessanweisungen, wie z.B. Produktinformati-
onen und Prozessabschluss, in den im FOUP integrierten ID-Tags. Protokoll und Maße entsprechen der SEMI-Norm (SEMI E4,E5, E99.1).
Vorteile
Die Zuverlässigkeit stellt die Funktion eines automatischen Transport-
systems sicher, durch das die Fertigungseffizienz aufrecht erhalten und die Rückverfolgbarkeit verbessert wird. Die Konformität mit der SEMI-Norm bietet Maschinenherstellern die Möglichkeit, die Konstruktionsspezifikation zu standardisieren.

