Wafer-Mapping
Herausforderung
Um die Anwesenheit von Wafern in einem FOUP richtig zu erkennen, muss der Öffnungswinkel der Einweglichtschranke, aufgrund der durch das FOUP erzeugten Reflexionen, schmal sein.
Die mechanische Neigungseinstellung des schmalen Strahls ist schwierig.
Lösung
Omron bietet Sensorköpfe mit schmalem Strahl (Öffnungswinkel 1,5 Grad) an, deren Neigung einfach eingestellt werden kann. Die Voreinstellung der optischen Achsen erlaubt eine sofortige Inbetriebnahme. Die Abweichung liegt typischerweise bei 0,1 Grad.
Vorteile
Einsparung der Einstellzeit für den Mapping-Sensor und Gewährleistung eines stabilen Mappings für hohe Ausbeuten.
Applikationen & Lösungen
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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