FOUP-Erkennungssensor
Herausforderung
Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unterschiedlichen Farben, Oberflächenbeschaffenheiten und Formen schwierig. Ein mechanischer Druck-Sensor könnte aber Kontami-
nierungen verursachen. Außerdem hätte er eine begrenzte Lebensdauer.
Lösung
Der FOUP-Sensor von Omron bietet eine stabile Erfassung, ohne durch Farbe, Oberfläche oder Form des FOUP beeinträchtigt zu werden. Die Form des FOUP-Tasters entspricht der SEMI-Norm. Die interne optische Erfassung des Tasters gewährleistet eine lange Lebensdauer.
Vorteile
Einfache Wartung, sauberer Prozess, lange Lebensdauer und stabile Erfassung.
Applikationen & Lösungen
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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