Flüssigkeitsstand-Erkennung
Herausforderung
Bei der Messung des Flüssigkeitsstands in einem transparenten Rohr können Blasen, Tropfen oder zähe Flüssigkeiten einen Messfehler verursachen, der zu einem Überlauf oder Flüssigkeitsmangel führen kann, sodass der Prozess zum Erliegen kommt.
Lösung
Das von Omron eingesetzte optische Verfahren ermöglicht eine stabile Erfassung durch Bereichserfassungs-Lichtleiterköpfe, deren Funktion nicht durch Blasen oder Tropfen beeinträchtigt wird. Bei trüben Flüssigkeiten oder Rohren werden kapazitive Sensoren eingesetzt und als preiswerte Lösung optische Mikrosensoren.
Vorteile
Der Flüssigkeitsstand wird auf stabile und sichere Art kontrolliert.
Applikationen & Lösungen
Strukturen auf Wafer aufzubringen erfordert Positionierung von höchster Genauigkeit. Da dieser Prozess, abhängig...
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Die Spezifikationen jeder Maschine müssen für jede Ferti- gungslinie festgelegt werden. Deshalb muss der Aufbau...
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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Um die Anwesenheit von Wafern in einem FOUP richtig zu erkennen, muss der Öffnungswinkel der Einweglichtschranke,...
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For 300 mm FOUP management, faulty reading of the carrier ID causes manufacturing-line stoppage. The...
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Das Wafer-Handling ist wichtig für die Prozesse und muss sicher, schnell und genau sein.
Beispiels- weise bei...
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Das Wafer-ID-Mana- gement ist ideal für die Rückverfolgung von Daten, doch ist das Dekodieren einer ID auf einem...
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