Gleichgewichtskontrolle

Herausforderung

Um die Wafer verarbeiten zu können, muss die Plattform-Base in horizon-
taler Position gehalten werden.
Bei Bewegung des Gantry-Antriebs oder des X/Y-Tischs kann es, aufgrund des Gewichts, zu einer Neigung der Plattform-Base kommen. Die Neigung muss gemessen und korrigiert werden. Dazu ist eine kontaktlose Hoch-
geschwindigkeitsmessung erforderlich.

Lösung

Omron bietet genaue Sensoren zur Spaltmessung unter Verwendung der Wirbelstrommethode an.
Durch die Trennung von Sensorkopf, Vorverstärker und Verstärker ist eine lineare und wiederholbare Spaltmessung bei verschiedenen Metallarten möglich.
Der separate Verstärker vermeidet eine Wärmeabstrahlung zum Prozess selbst und ermöglicht eine konstante Temperatur in der Umgebung der Sensoren.

Vorteile

Eine genaue und schnelle Gleichgewichtkontrolle ermöglicht einen qualitativ hochwertigen Prozess.
Messungen in einer sauberen Umgebung verbessern die Ausbeute.