X/Y Tisch mit eisenbehafteten Linearmotoren

Herausforderung

Strukturen auf Wafer aufzubringen erfordert Positionierung von höchster Genauigkeit. Da dieser Prozess, abhängig von der Anzahl der aufgebrachten Schichten, mehrmals wiederholt wird, ist neben hoher Wiederholgenauigkeit auch eine hohe Geschwindigkeit erforderlich.

Lösung

Omrons Linearmotoren und Linearmotorsysteme in Verbindung mit unserem Trajexia Motion-Controller und Sigma V Reglern mit fortschrittlichen Auto- und Self-Tuning Algorithmen.

Vorteile

Omrons Linearantriebe ermöglichen Geschwindigkeiten bis zu 5m/s und Beschleunigungen bis zu 100m/s² bei einer Positionsauflösung von 0,078µm. Mit den schnellen Regelalgorithmen des Sigma V und gemeinsam mit dem Trajexia Motion-Controller erzielen Sie deutliche Steigerungen Ihrer Maschine in Puncto Belichtungsqualität, Genauigkeit und Durchsatz.