Handhabung von Masken

Herausforderung

Der Masken-SMIF-Pod (Standard Mechanical InterFace) wird verwendet, um die Masken aus dem Lithografie-Prozess, in Masken-Stocker und im Transportsystem geschützt zu transportieren und zu verwalten.
Mit ID’s gekennzeichnete Masken werden in der Maschine dekodiert. Anschließend wird diese Information in das im SMIF-Pod integrierte RFID-Tag geschrieben.
Die ID’s auf den Masken können einen 2D-Code enthalten und einige von ihnen sind halbtransparent, wodurch sich eine Dekodierung schwierig gestaltet.
Das RFID am Masken-Pod muss der SEMI-Norm E111 entsprechen.

Lösung

Omron bietet einen 2D-Codeleser für Masken und RFID für den SMIF-Pod an.
Die Codeleser haben spezielle Algorithmen zum Dekodieren von unklar erkennbaren Codes auf transparenten Masken.
Für das SMIF-Pod-Management entspricht die kompakte Lese-/Schreibantenne von Omron der SEMI-Norm E111 und die langjährige Erfahrung mit RFID-Systemen garantiert einen stabilen Betrieb. Ein Wandler zu SEMI E99.1 ist ebenfalls erhältlich.

Vorteile

Die hohe Zuverlässigkeit trägt zu der fehlerfreie Funktion des automatischen Transportsystems bei.
Die Fertigungseffizienz kann aufrecht erhalten und die Rückverfolgbarkeit ermöglicht werden.
SEMI genormte Komponente erleichtern die Integration der Anlagen in die Produktionslinie.