Herausrutschen von Wafern

Herausforderung

Aus einer festgelegten Position herausgerutschte Wafer können einen Zusammenstoß zwischen Roboterarm und Wafern verursachen. Für ein sicheres Handling muss ein herausgerutschter Wafer unbedingt erkannt werden. Die Position des Wafer-Randes muß sowohl von oben als auch von unten gleich erkannt werden. Zudem ist unter der Kassette nicht genug Raum für das Platzieren von Sensoren vorhanden.

Lösung

Koaxiale Laser-Reflexionslichtschranken ermöglichen eine streuungslose Erfassung aller Wafer an derselben Position in der Längsachse. Sogar transparente Glas-Wafer werden erfasst.

Vorteile

Sicherer Wafer-Handling bei Einsparung von Platz und Verdrahtung.