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Ebenheit-/Positionsmessung der Wafer-Greifer
Herausforderung
Das Wafer-Handling ist wichtig für die Prozesse und muss sicher, schnell und genau sein.
Beispielsweise bei der Justage und Wartung der Anlagen muss sich der Wafer-Greifer in horizontaler Lage und an der richtigen Position befinden.
Lösung
Omron bietet kompakte Laser-Messsensoren an. Die Trennung von Sensor-
kopf und Verstärker ermöglicht eine Verkleinerung des Sensorkopfes mit entsprechend geringerer Wärmeabgabe, eine einfache Justage und Wartung.
Vorteile
Sicheres Wafer-Handling bei begrenztem Raumangebot.
Applikationen & Lösungen
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