Wafer Handhabung
300-mm-Wafer werden in FOUP`s (Front Opening Unified Pods) an ein Load-port übergeben. Die Wafer werden von EFEMs (Equipment Front End Module) ausgerichtet und von den Loadports zur Wafer-Station der diversen Prozess-module transportiert.
Omron bietet Lösungen für Loadports an, die den SEMI-Normen entsprechen.
Beim Wafer-Alignment müssen Notch und Abweichung des Wafers ausge-
richtet werden, um die Wafer in der richtigen Position zu übergeben. Um eine hohe Ausbeute aufrecht zu erhalten, muss das Wafer-Handling sicher, schnell und genau erfolgen und die Position des Wafers oder Roboterarms zur Vermeidung von Fehlern geprüft werden.
Applikationen & Lösungen
Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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Um die Anwesenheit von Wafern in einem FOUP richtig zu erkennen, muss der Öffnungswinkel der Einweglichtschranke,...
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Eine stabile FOUP Erkennung am Load Port mit einem optischen Sensor ist aufgrund der unter- schiedlichen Farben,...
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Das Wafer-Handling ist wichtig für die Prozesse und muss sicher, schnell und genau sein. Beispiels- weise bei der...
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Das Wafer-ID-Mana- gement ist ideal für die Rückverfolgung von Daten, doch ist das Dekodieren einer ID auf einem...
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Die verschiedenen Oberflächenbeschaf- fenheiten von Wafern machen eine stabile Wafer-Erkennung schwierig....
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Aus einer festgelegten Position herausge- rutschte Wafer können einen Zusammenstoß zwischen Roboterarm und Wafern...
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