Industrial Automation | Europe

Omron Europe

Kompetenz in Applikationen und Lösungen für die Halbleiter, Photovoltaik & Elektronikindustrie

Sie sind hier: Halbleiter > Front End Prozesse > Wafer CMP Prozesse

English
Deutsch

Startseite

Halbleiter

Photovoltaik Wafer

Photovoltaik Dünnschicht

Elektronik

Kontakt

Wafer CMP Prozesse

Die CMP (chemische/mechanische Planarisierung) hat einen weiten Einsatz-bereich bei der Planarisierung der Wafer-Oberfläche in verschiedenen Produktionsschritten.

Applikationen & Lösungen

Wafer-Erkennung

Die verschiedenen Oberflächenbeschaf- fenheiten von Wafern machen eine stabile Wafer-Erkennung schwierig.... >>

Betriebssicherheit

Bei thermischen Prozessen ist sicherer Betrieb eine Schlüsselfrage. Die Interlock-Sperre schützt Bedienpersonal... >>

Wafer-Mapping

Um die Anwesenheit von Wafern in einem FOUP richtig zu erkennen, muss der Öffnungswinkel der Einweglichtschranke,... >>

Wafer-Zentrierung

Zur Zentrierung des Wafers oder zur Suche nach der Wafer-Notch/Flat muss der Wafer-Rand genau und schnell gemessen... >>

Wasserbeständiger Sensor

Mechanische Sensoren können Glas/Wafer beschädigen. Andererseits ist es mit herkömmlichen optischen Sensoren... >>

Flüssigkeitsleck-Erkennung

Ein Flüssigkeitsleck kann eine ernste Gefahr darstellen (elektrischer Schlag oder Einatmen von gefährlichen... >>

Flüssigkeitsstand-Erkennung

Bei der Messung des Flüssigkeitsstands in einem transparenten Rohr können Blasen, Tropfen oder zähe Flüssigkeiten... >>