Eisenloses Linearmotor Gantry System

Herausforderung

Der Prozess Wafer Bumping erfordert Anlagen, die einen hohen Durchsatz bei genauester Positionierung ermöglichen. Die Strukturen erreichen immer kleinere Maße und somit werden auch immer geringere Toleranzen vorge-
schrieben.

Lösung

Omrons Linearmotoren und Linearmotorsysteme in Verbindung mit unserem Trajexia Motion-Controller und Sigma V Reglern mit fortschrittlichen Auto- und Self-Tuning Algorithmen.

Vorteile

Omrons Linearantriebe ermöglichen Geschwindigkeiten bis zu 5m/s und Beschleunigungen bis zu 100m/s² bei einer Positionsauflösung von 0,078µm.

Mittels der schnellen Regelalgorithmen des Sigma V gemeinsam mit dem Trajexia Motion-Controller erzielen Sie eine deutliche Leistungssteigerungen Ihrer Anlage in Puncto Genauigkeit und Durchsatz.