Prüfung mit einer UV-Lampe

Herausforderung

Um Dies und Folien leichter voneinander zu trennen, ist eine UV-Lampe erforderlich. Die Bestrahlung des Wafers auf der Folienrückseite muss konstant gehalten werden.

Um Schwankungen in der Erkennung zu vermeiden, ist eine stabile Leistung der UV-Lampe erforderlich. Deshalb muss die Lampe bei nachlassender Leistung ersetzt werden.

Offline-Messungen mit einem Belichtungsmesser erfordern zusätzliche Wartungszeit und unterbrechen die Produktion.

Lösung

Der UV-Prüfsensor von Omron kann die Leuchtstärke bei laufendem Betrieb messen.

Vorteile

Eine gleichmäßige UV-Leistung ist gewährleistet, da die Leuchtkraft ständig gemessen werden kann.

Online-Messungen minimieren Wartungszeit und Produktionsstopps, sparen Kosten und erhöhen den Durchsatz.