Messung der relativen Höhe des Inspektionskopfes / Nozzle Gap

Herausforderung

Um die Oberfläche eines Wafers zu prüfen, ist es erforderlich, die Höhe zwischen Inspektionskopf und Oberfläche des Wafers einzustellen. Um den Prüfpunkt mit dem Objektiv korrekt zu fokussieren, muss der Messpunkt knapp unterhalb des Kopfes liegen.

Lösung

Omron bietet einen Messsensor mit separatem Sender und Empfänger an. Dieser ermöglicht eine präzise Ermittlung des richtigen Prüfpunkts.

Vorteile

Der Inspektionszyklus kann durch Verkürzung der Einstellzeit zur Fokussie-
rung auf die Oberfläche beschleunigt werden.